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跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用重大儀器專(zhuān)項(xiàng)啟動(dòng)

[2015/3/25]

  3月20日,國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專(zhuān)項(xiàng)“跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”項(xiàng)目首次工作會(huì)議在市計(jì)測(cè)院舉行。國(guó)家質(zhì)檢總局科技司副處長(zhǎng)謝正文主持會(huì)議,清華大學(xué)院士金國(guó)藩、同濟(jì)大學(xué)院士李同保、上海理工大學(xué)院士莊松林,國(guó)家質(zhì)檢總局科技司副司長(zhǎng)王越薇、市質(zhì)監(jiān)局總工程師陸敏、市科委處長(zhǎng)過(guò)浩敏等專(zhuān)家和領(lǐng)導(dǎo)出席會(huì)議。

  會(huì)上,項(xiàng)目總體組、技術(shù)專(zhuān)家組、項(xiàng)目監(jiān)理組、用戶委員會(huì)和項(xiàng)目管理辦公室宣布成立。會(huì)議報(bào)告了項(xiàng)目及任務(wù)實(shí)施方案,介紹了項(xiàng)目管理辦法,并由專(zhuān)家現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了技術(shù)點(diǎn)評(píng)和項(xiàng)目管理點(diǎn)評(píng)。

  王越薇對(duì)項(xiàng)目推進(jìn)提出了具體工作要求。她要求項(xiàng)目所有單位本著為國(guó)家產(chǎn)業(yè)發(fā)展負(fù)責(zé)的精神,對(duì)項(xiàng)目予以高度重視。牽頭單位要圍繞總體目標(biāo),做細(xì)做實(shí)項(xiàng)目推進(jìn)計(jì)劃,項(xiàng)目各參與單位必須按時(shí)保質(zhì)完成分目標(biāo),確保項(xiàng)目順利推進(jìn)。她要求加強(qiáng)項(xiàng)目的過(guò)程管理,制定并落實(shí)各項(xiàng)管理制度,對(duì)項(xiàng)目推進(jìn)中出現(xiàn)的問(wèn)題,要協(xié)調(diào)解決,必要時(shí)召開(kāi)專(zhuān)題會(huì)議,并且做好包括基礎(chǔ)數(shù)據(jù)、過(guò)程記錄在內(nèi)的檔案管理。她還要求加強(qiáng)項(xiàng)目的財(cái)務(wù)管理,牽頭單位和各參與單位都要重視財(cái)務(wù)管理,尤其要提高國(guó)家級(jí)重大項(xiàng)目的財(cái)務(wù)管理水平,確保項(xiàng)目經(jīng)費(fèi)的使用符合財(cái)務(wù)管理要求。最后,王越薇長(zhǎng)還代表國(guó)家質(zhì)檢總局科技司表示,將盡全力做好項(xiàng)目實(shí)施單位與國(guó)家科技部的橋梁工作。

  會(huì)上,陸敏要求市計(jì)測(cè)院勇于創(chuàng)新,集中力量確保項(xiàng)目順利實(shí)施,并通過(guò)科研項(xiàng)目促進(jìn)科研管理水平和能力的提高。

  過(guò)浩敏感謝國(guó)家質(zhì)檢總局對(duì)項(xiàng)目的支持,肯定了重大專(zhuān)項(xiàng)對(duì)上海市創(chuàng)建具有國(guó)際影響力的科創(chuàng)中心的重要意義,并表示市科委將盡全力做好項(xiàng)目實(shí)施的地方配套服務(wù)工作。

  “跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用”項(xiàng)目以我國(guó)近年來(lái)多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)及市計(jì)測(cè)院科研成果為基礎(chǔ),突破我國(guó)在微納米檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域檢測(cè)方法集成開(kāi)發(fā)的諸多技術(shù)瓶頸,旨在攻克宏微聯(lián)動(dòng)多軸驅(qū)動(dòng)和多測(cè)頭集成、基于原子沉積光柵的納米量值溯源等關(guān)鍵技術(shù),研制用于計(jì)量、工業(yè)生產(chǎn)、產(chǎn)品檢測(cè)中微形貌和幾何尺寸測(cè)量的微納米測(cè)量?jī)x,并構(gòu)建跨尺度、高精度微納米測(cè)量與研發(fā)平臺(tái),為我國(guó)國(guó)防、航空航天、半導(dǎo)體制造業(yè)、微機(jī)電產(chǎn)業(yè)、大氣污染物防治等領(lǐng)域提供有效的納米計(jì)量技術(shù)支持和保障,提升我國(guó)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)中微納米尺寸定量化測(cè)量的技術(shù)水平。

  在國(guó)家質(zhì)檢總局的組織和指導(dǎo)下,項(xiàng)目經(jīng)過(guò)近兩年半時(shí)間的籌備和醞釀,于2014年10月獲得國(guó)家科技部批準(zhǔn)立項(xiàng)。項(xiàng)目牽頭單位為上海計(jì)測(cè)工程設(shè)備監(jiān)理有限公司,第一技術(shù)支撐單位為市計(jì)測(cè)院,16家參加單位涉及清華大學(xué)、上海交通大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)等國(guó)內(nèi)頂級(jí)高校,以及中國(guó)工程物理研究院、國(guó)家納米中心、中國(guó)科學(xué)院等國(guó)內(nèi)頂尖研究機(jī)構(gòu)。

  項(xiàng)目研究過(guò)程中,將以產(chǎn)業(yè)需求為牽引,以實(shí)際應(yīng)用為導(dǎo)向,注重基于國(guó)際先進(jìn)技術(shù)基礎(chǔ)上的集成創(chuàng)新和工程化、產(chǎn)業(yè)化開(kāi)發(fā),著力挖掘科研成果轉(zhuǎn)化的潛力,提高我國(guó)微納米測(cè)量科學(xué)儀器設(shè)備的自主創(chuàng)新能力和自我裝備水平,并促進(jìn)產(chǎn)、學(xué)、研、用的結(jié)合。項(xiàng)目完成后,將形成具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的儀器產(chǎn)品、附件、服務(wù)、標(biāo)準(zhǔn)等成果,能夠填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白,挑戰(zhàn)國(guó)外儀器在相關(guān)領(lǐng)域的權(quán)威地位,促進(jìn)納米科技與經(jīng)濟(jì)緊密結(jié)合、科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)發(fā)展緊密融合,更樹(shù)立國(guó)家在納米制造、微電子、新型材料、超精密加工制造等領(lǐng)域的國(guó)際權(quán)威地位與話語(yǔ)權(quán)。